Введение в современную микро- и наносистемную технику Инфра-Инженерия

ФОТО ДОСТАВКА ОТЗЫВЫ ▼ Подробнее

2 159 р.Скидка: 17%

1 799 р.

В МАГАЗИНБуквоед

Найдено в: Буквоед
Производитель: Инфра-Инженерия
Возможен самовывоз

Найти похожие на AliExpress

в Джум +

Книга "Введение в современную микро- и наносистемную технику"

Авторы: Александр Викторович Гридчин

Издатель: Инфра-Инженерия

Год издания 2024

Страниц: 232

ISBN: 978-5-9729-1613-9

Описание

Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники. Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», для колледжей микроэлектронного направления и широкого круга читателей.